洁净室及其广泛应用

【概要描述】洁净室，亦称无尘车间、无尘室。洁净室的主要功能为室内污染控制；没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在美国联邦标准（FED-STD-2）里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

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洁净室，亦称无尘车间、无尘室。洁净室的主要功能为室内污染控制；没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在美国联邦标准（FED-STD-2）里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准。因此，洁净室也广泛运用于高精尖产品的研发、生产以及高校院所科研等环节。

洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要的作用在于控制产品(如硅芯片、药品等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定，也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于高精尖产品而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在高精尖产品的生产及科研上，无尘是必然的要求。

每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

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